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层式退火结晶炉
层式退火结晶炉

接纳自研加热系统和控温方法 ,,,,,,,提高钙钛矿质料结晶时受热匀称性 ,,,,,,,包管钙钛矿质料快速退火结晶的一致性

选件:
钙钛矿、层式退火结晶自力控温快速冷却超清洁工业盘算机触摸屏
产品特点

用于成膜后的退火结晶工艺 ,,,,,,,装备由收支料传送段、机械手取放料装置、炉体、预热区、高温区、冷却区、取放片装置、进排气装置、传动组件、电控系统等组成。。。。。 。。。每层加热、冷却时间自力可调;;;;;;;;

炉体内部的清洁度可达百级 ,,,,,,,炉内接纳模组机械手X、Y、Z搬送 ,,,,,,,传送滚轮接纳UPE防静电质料制作 ,,,,,,,不刮伤产品底面;;;;;;;;

搭载智能控制软件系统 ,,,,,,,温控精度高 ,,,,,,,行动快速精准、升温速率可控、基板外貌温度匀称、溶剂挥发充分。。。。。 。。。

产品详情
系列 处置惩罚产品规格 进料偏向 最高温度 退火生产节奏 控制区域 气氛
HXL 300×300mm-2400×1600mm 长边进料 200℃ ≥30秒/PCS 预热区、高温区、冷却区 Air/真空
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